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概述
大型箱体和气体纯化系统



大型环境空间专用,具备优秀的自动化控制能力和高效的气体除氧除水净化系统,为您提供高清洁度的制造环境。

特点
低水氧
——
H2O<1ppm、O2<1ppm
   <0.001vol%/h
超低泄漏率
——
高洁净度
——
ISO2级、ISO3级(class 1级)
安全可靠
——
技术参数

- 高效气体除氧除水净化器

- 氧气(O₂)<1 ppm,水(H₂O)<1 ppm

- 大型环境空间专用高达25/50/100m³,更大可选

- 优秀自动化控制能力

- OLED/QLED制造环境专用,适用于洁净度ISO3级或更高

- 应用于IJP环境,有机溶剂吸附柱可选

- 其他杂质气体吸附柱可选

VP-60 &  VP-100 &  VP-200

VP-60 &  VP-100 &  VP-200

副标题


VP-60

VP-100

VP-200

基本参数

使用空间(m³ )

25

50

100

风机(m³/h)

>500

>1000

>2000

氧气O(ppm)

<1

<1

<1

H₂O (ppm)

<1

<1

<1

吸氧量O(l)

600

1500

3000

吸水量HO(g)

18000

50000

100000


传感器

Oppm

O%

HO  ppm

压力传感器

溶剂传感器


特点

泄漏率检测

曲线图HO/Oppm

曲线图BOX压力

自动再生

彩色触摸屏

干式真空泵

注:★标配  ☆选配



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